安装台架:整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上,此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。
机架:碳钢制作,表面喷塑处理,不锈钢面板,支撑真空腔体及真空系统,成都电子束蒸发镀膜机,底下配脚轮,方便移动、定位。
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真空测量:采用数显复合真空计(两只电阻规测量低真空,一只电离规测量高真空), 测量范围为1×105pa —1×10-5pa。
断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。
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1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理气相沉积(pvd)的工艺方法。
2.蒸发镀主要包括:电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。
3.您所说的e型枪镀膜和直型电子枪镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。
4.s枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶,阴极靶材为环状锥形,电子束蒸发镀膜机报价,安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场,其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动,电子流密度很大,在靶面附近产生很强的非弹性碰撞,电离几率很大,形成很强的等离子体。
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