电子束蒸发镀膜机-沈阳鹏程真空技术

电子束镀膜机电源柜的操作

1. 总电源

2. 同时开电子枪控制ⅰ和电子枪控制ⅱ电源：按电子枪控制ⅰ电源、---开关、电源及保护灯亮，三分钟后--- 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高压会达到10kv以上，调节束流可到200ma左右，帘栅为20v/100ma，灯丝电流1.2a，齐齐哈尔电子束蒸发镀膜机，偏转电流在1~1.7之间摆动。

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dzs800型电子束镀膜设备

主要用途：　　

用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。

系统组成:　　

系统主要由蒸发真空室、e型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。　　

技术指标：　　

---真空度：≤6.7×10 pa　　恢复真空时间：从1×10 pa抽至5×10 pa≤20min　　

系统漏率：6. 7×10-7pa.l/s；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用u型箱体前开门，后置抽气系统　　

e型电子枪：阳极电压：10kv(2套)　　坩埚：水冷式坩埚，24穴设计，每个容量11ml　　

功率：0-10kw可调　　电阻蒸发源(可选)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更换20个样品　　

样品台：基片可连续回转，转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离350mm加热温度 400°c±1°c　　

气路系统：流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制仪：监测膜厚显---围：0-99μ9999?

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