高真空电子束镀膜机公司-沈阳鹏程-保定高真空电子束镀膜机

电子束镀膜有哪些特点？

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★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台---美学和用户操控体验的全新升级产品；

★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；

★ 可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；

★ ---的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；

★ 可沉积金属（au， ag， al，高真空电子束镀膜机， ti， pt， mo， fe， cr， ni等）、化合物（ito等）及有机物材料（进口电子枪）。

电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

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设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备al、co、ni、fe的合金或氧化物膜，sio2、zro2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。