主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,300c有机无机联合蒸发镀膜机,也可用于大批量生产前的试验工作,广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、oled等研究领域。钙钛矿镀膜机工作过程中样品位于真空室上方,蒸发源位于真空室下方,向上蒸发镀膜,且蒸发源带有挡板装置,防止蒸发源被污染。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司以诚信为首,服务为宗旨。公司生产、销售电阻热蒸发镀膜产品,公司拥有---的销售团队和经营理念。想要了解更多信息,赶快拨打图片上的热线电话!
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主要用途:
用于纳米级单层及多层金属膜、 半导体膜等新材料的制备。广泛应用 于大专院校的薄膜材料科研。
系统组成:
由真空室、蒸发源、样品台、 真空测量、膜厚测试、电控系统组成。
技术指标:
---真空度5.0×10-5pa,300c有机无机联合蒸发镀膜机批发,系统漏率:1×10-7pal/s; 恢复真空时间:40分钟可达6.6×10 pa
真空室:d形真空室,尺寸350× 380mm
样品台:尺寸为4英寸厚度3mm的平面样品;
电极:数量:4支水冷结构;直径φ20㎜
样品基片:,基片在镀膜位置实现自转。基片的温度从室温至600℃
4套挡板系统:基片挡板与源挡板;靶挡板共有3套, 样品挡板(1套)
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统。
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1、样品位于真空室上方,蒸发源位于真空室下方,向上蒸发镀膜,且蒸发源带有挡板装置。
2、设有烘烤加热功能,可在镀膜过程中加热样品,300c有机无机联合蒸发镀膜机销售,烘烤加热温度为≤180℃。
3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。
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沈阳鹏程公司-300c有机无机联合蒸发镀膜机由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司是从事“电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供高的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:董顺。
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