脉冲激光沉积设备多少钱-脉冲激光沉积设备-沈阳鹏程真空技术

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    2020-12-12

董顺
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脉冲激光沉积介绍

脉冲激光沉积,是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。pld 的---之处是能量源(脉冲激光)位于真空室的外面。这样,在材料合成时,工作压力的动态范围很宽,脉冲激光沉积设备多少钱,达到10-10 torr ~ 100 torr。通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有---功能的纳米结构和纳米颗粒。

另外,脉冲激光沉积设备报价,pld 是一种“数字”技术,在纳米尺度上进行工艺控制(a°/pulse)。

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脉冲激光沉积选件介绍

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连续组成扩展(ccs )

常规沉积条件下的组合合成

组合合成是一种基于脉冲激光沉积的、组合材料合成的新型连续组成扩展(ccs) 方法。pld-ccs 系统能以连续的方式改变材料,没有---使用掩模。可以在每一次循环中,以小于一个单分子层的速率,快速连续沉积每一种组份,其结果是基本等同于共沉积法。该法无需在沉积后进行退火促进内部扩散或结晶,对于生长温度是关键参数的研究或者被沉积的材料或基片不适合高温退火的情况是有用的。



脉冲激光沉积机制

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pld的系统设备简单,相反,脉冲激光沉积设备,它的原理却是非常复杂的物理现象。它涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时,激光与物质之间的所有物理相互作用,亦包括等离子羽状物的形成,其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移,及膜的生成过程。所以,pld一般可以分为以下四个阶段:

1. 激光辐射与靶的相互作用

2. 熔化物质的动态

3. 熔化物质在基片的沉积

4. 薄膜在基片表面的成核(nucleation)与生成。



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