激光脉冲沉积装置厂家-沈阳鹏程-激光脉冲沉积装置

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    2020-12-13

董顺
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脉冲激光沉积选件介绍

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售脉冲激光沉积,我们公司坚持用户为---,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。

连续组成扩展(ccs )

常规沉积条件下的组合合成

组合合成是一种基于脉冲激光沉积的、组合材料合成的新型连续组成扩展(ccs) 方法。pld-ccs 系统能以连续的方式改变材料,没有---使用掩模。可以在每一次循环中,以小于一个单分子层的速率,快速连续沉积每一种组份,激光脉冲沉积装置厂家,其结果是基本等同于共沉积法。该法无需在沉积后进行退火促进内部扩散或结晶,对于生长温度是关键参数的研究或者被沉积的材料或基片不适合高温退火的情况是有用的。



脉冲激光沉积的优点

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1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,激光脉冲沉积装置公司,即具有---的保成分性;

2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;

3. 工艺参数任意调节,激光脉冲沉积装置,对靶材的种类没有---;

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脉冲激光沉积原理

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脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。



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