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脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。
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是比较理想的薄膜与涂层合成设备。可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2d材料。blue wave还提供相关系统配件,例如基片加热装置、原位监测工具。此外,bluewave还为您提供标准的薄膜以及材料涂层,例如氧化物涂层、导电薄膜、无定型或纳米晶si/sic、晶体aln-gan、聚合物、纳米钻石、hfcvd钻石涂层以及器件加工。
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脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,---物薄膜,激光脉冲沉积设备报价,金属薄膜,磁性材料等。
应用领域:
单晶薄膜外延(srtio3,laalo3)
压电薄膜(pzt,aln,bifeo3,batio3)
铁电薄膜(batio3,kh2po4)
热电薄膜(srtio3)
金属和化合物薄膜电极(ti,激光脉冲沉积设备,ag,au,pt,ni,co,srruo3,lanio3,yzro2,gdceo2,lasrcofeo3)
半导体薄膜(zn(mg)o,aln,srtio3)
高k介质薄膜(hfo2,ceo2,al2o3,batio3,srtio3,pbzrtio3,laalo3,ta2o5)
超导薄膜(yba2cuo7-x,bisrcacuo)
光波导,激光脉冲沉积设备多少钱,光学薄膜(pzt,aln,batio3,al2o3,zro2,tio2)
超疏水薄膜(ptfe)
红外探测薄膜(v2o5,pzt)
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