* 涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
* pocket电子枪
* 电子束源和基片遮板
* 自动pocket索引以及可编程的扫描控制器
* 旋转样品台,提供高均匀性
* 带观察视窗的腔门,便于放片/取片
* pc全自动控制,具有高度的可重复性
* labview软件的计算机全自动工艺控制控
* 多级密码保护的授权访问设计
* emo保护以及完全的安全联锁
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1. 总电源
2. 同时开电子枪控制ⅰ和电子枪控制ⅱ电源:按电子枪控制ⅰ电源、---开关、电源及保护灯亮,三分钟后--- 及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
3. 开高压,高压会达到10kv以上,调节束流可到200ma左右,电子束蒸发镀膜机厂家,帘栅为20v/100ma,灯丝电流1.2a,偏转电流在1~1.7之间摆动。
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电子束蒸镀与利用电阻进行蒸镀的优势在于:可以为待蒸发的物质提供更高的热量,电子束蒸发镀膜机,因此蒸镀的速率也更快;电子束定位准确,可以避免坩埚材料的蒸发和污染。但是由于蒸镀过程中需要持续水冷,对能量的利用率不高;而且由于高能电子可能带来的二次电子可能使残余的气体分子电离,也有可能带来污染。此外,大多数的化合物薄膜在被高能电子轰击时会发生分解,这影响了薄膜的成分和结构 。
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