等离子化学气相沉积设备-沈阳鹏程公司

化学气相沉积技术类型介绍

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化学气相沉积装置主要的元件就是反应器。按照反应器结构上的差别，等离子化学气相沉积设备报价，我们可以把化学气相沉积技术分成开管/封管气流法两种类型：

1 封管法这种反应方式是将一定量的反应物质和集体放置于反应器的两边，将反应器中---真空， 再向其中注入部分输运气体，然后再次密封，等离子化学气相沉积设备， 再控制反应器两端的温度使其有一定差别，它的优点是：能有效够避免外部污染；无须持续抽气就能使是内部保持真空。

2 开管法这种制备方法的特点是反应气体混合物能够随时补充。废气也可以及时排出反应装置。以加热方法为区分，开管气流法应分为热壁和冷壁两种。前者的加热会让整个沉积室壁都会因此变热，所以管壁上同样会发生沉积。冷壁式加热一般会使用感应加热、通电加热以及红外加热等等。

化学气相沉积的应用

现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，这些功能材料必须是高纯的，或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是，我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求，也难以---得到高纯度的产品。因此，无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。

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