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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和e型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得---的能量密度，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率较高。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。
1、烘烤照明系统1套。烘烤温度：室温-150℃。（在10-4pa时，真空室内残余气体的组合，水蒸汽约占 90%以上，因此在该压强下进行蒸镀，实际上相当于在水蒸汽中制膜，为了减少水份，电子束镀膜机，提高真空室温，使水分解，是提高膜层的一种可行办法）。
2、电控柜：标准电控柜，组装总控制电源、真空系统控制（分子泵、机械泵电源、挡板等）、数显真空计等。柜底下配脚轮，方便移动、定位。
3、手动按钮式操作，备留机电转换及控制接口，方便实验记录.
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镀膜室：
采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸φ450×h600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空---不锈钢， 厚度***1 mm），镀膜室及前开门材质：304真空---不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，电子束镀膜机报价，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。
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