磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面以及靶源表面,从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,---的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源(磁控,多弧,磁控溅射机厂家,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,磁控溅射机,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
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实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,磁控溅射机公司,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;
方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既---了设备使用方便又---了设备的整洁;
---:设备主要零部件采用进口或国内品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而---了设备的及性能;
安全性:独立开发的plc+触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能,---了设备的使用安全性能;
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设备简介
主要特点是设备体积小,结构简单紧凑易于操作,对实验室供电要求低;该系列设备主要部件采用进口或者国内---的配置,从而提高设备的稳定性;另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到---地保障。 目前该系列有基本型、---型、---型、尊享型4种不同配置可供选择,可以根据客户的不同需求进行配置,比较灵活;标配4只φ2英寸永磁靶,4台500w直流溅射电源,主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、半导体膜以及绝缘膜等。
磁控溅射机厂家-沈阳鹏程(在线咨询)-磁控溅射机由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司是从事“电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供高的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:董顺。
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