镀膜室：
采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸φ450×h600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空---不锈钢， 厚度***1 mm），镀膜室及前开门材质：304真空---不锈钢，电子束蒸发镀膜设备，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。
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电子束蒸镀（electron beam evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以---地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，电子束蒸发镀膜设备多少钱，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售电子束产品，我们公司坚持用户为---，想用户之所想，急用户之所急，以诚为本，讲求信誉，以产品求发展，以求生存，我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
设备性能技术指标：
1、设备---真空度：5×10-5pa（电子枪静止状态）。
2、设备总体漏放率：关机12小时后，真空度≤8pa。
3、从---到抽到≤9×10-4pa，40min(新设备充干燥氮气)，提高了工作效率。
4、真空漏率：≤10-7pa.l/s
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滇公网安备 53011202000392号